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来源：开云登录网页    发布时间：2024-11-28 09:22:51

　　金融界 2024 年 10 月 25 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，大连益盛达智能科技有限公司获得一项名为“一种晶圆旋转设备”的专利，授权公告号 CN 221861623 U，请求日期为 2023 年 12 月。

　　专利摘要显现，一种晶圆旋转设备，归于半导体技术领域，包含载台、同步轮、伺服电机和设备本体，载台上设置晶圆，载台经过同步轮与伺服电机相连，载台设置在设备本体上。所述载台固定设置在支撑座上；所述支撑座的下方与同步轮相连；所述载台下方设置避免载台倾斜的固定支撑块所述固定支撑块固定设置在设备本体上晶圆片在巡边寻觅 notch 口定位时，本实用新型设备能平稳地旋转，本实用新型经过固定支撑块避免载台在在旋转的进程呈现倾斜。

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